國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，ASM IP私人控股有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“多溫度反應(yīng)器系統(tǒng)和方法”的專利，公開號(hào)CN121362964A，申請(qǐng)日期為2025年7月快速。
專利摘要顯示，公開了用于快速調(diào)節(jié)襯底溫度的反應(yīng)器系統(tǒng)和方法快速。示例性反應(yīng)器系統(tǒng)可以包括聯(lián)接到反應(yīng)器的反應(yīng)室的一個(gè)或多個(gè)溫度調(diào)節(jié)氣體源。另外或可替代地，示例性反應(yīng)器系統(tǒng)可包括升降銷組件，其可以在處理期間移動(dòng)襯底遠(yuǎn)離基座表面。
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