國家知識產(chǎn)權局信息顯示，ASM IP私人控股有限公司申請一項名為“多溫度反應器系統(tǒng)和方法”的專利，公開號CN121362964A，申請日期為2025年7月快速。
專利摘要顯示，公開了用于快速調節(jié)襯底溫度的反應器系統(tǒng)和方法快速。示例性反應器系統(tǒng)可以包括聯(lián)接到反應器的反應室的一個或多個溫度調節(jié)氣體源。另外或可替代地，示例性反應器系統(tǒng)可包括升降銷組件，其可以在處理期間移動襯底遠離基座表面。
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來源快速：市場資訊
