國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，江蘇天芯微半導體設(shè)備有限公司申請一項名為“一種等離子處理設(shè)備”的專利，公開號CN121662700A，申請日期為2025年11月快速。
專利摘要顯示，本發(fā)明提供一種等離子處理設(shè)備，包括：基座、腔體；氣體分配件設(shè)置于基座上；移動部沿著移動方向可移動地設(shè)置于腔體上方；被鎖定裝置設(shè)置于基座上；鎖定裝置設(shè)置于移動部，用于在第一維護狀態(tài)下，鎖定被鎖定裝置；或在第二維護狀態(tài)下，與被鎖定裝置解除鎖定；氣體輸送裝置包括輸氣管路和至少一個接頭模塊，輸氣管路和接頭模塊通過與氣體分配件連接，向氣體分配件輸送工藝氣體；其中，輸氣管路包括可移動管路和固定管路，可移動管路在第一維護狀態(tài)下或第二維護狀態(tài)下，隨著移動部移動，可移動管路和固定管路通過接頭模塊連接快速。本發(fā)明解決了根據(jù)不同安裝和維護需求切換不同打開方式的問題，同時無需將輸氣管路拆下，實現(xiàn)管路的快速密封對接。
天眼查資料顯示，江蘇天芯微半導體設(shè)備有限公司，成立于2019年，位于無錫市，是一家以從事專用設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)快速。企業(yè)注冊資本16385.15萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析，江蘇天芯微半導體設(shè)備有限公司參與招投標項目6次，財產(chǎn)線索方面有商標信息43條，專利信息179條，此外企業(yè)還擁有行政許可18個。
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來源快速：市場資訊
