積塔半導體取得晶圓貨架專利,降低晶圓表面的顆粒污染物

國家知識產(chǎn)權局信息顯示,上海積塔半導體有限公司取得一項名為“晶圓貨架”的專利,授權公告號CN223822525U,申請日期為2025年2月貨架。

專利摘要顯示,本實用新型提供一種晶圓貨架貨架。晶圓貨架包括:支架;料臺,設置于所述支架上,用于承載晶圓;風機組,設置于所述支架上并位于所述料臺上方,所述風機組包括多個離子風機和多個過濾風機,所述離子風機用于向所述晶圓提供離子氣流,所述過濾風機用于朝向所述晶圓提供過濾氣流。上述技術方案在晶圓貨架上設置離子風機和過濾風機,通過離子風機提供帶有正負電荷的離子氣流,可以將將晶圓表面上所帶的電荷中和掉,消除靜電效果,降低靜電帶來的風險;并通過提供新鮮潔凈的過濾氣流,有效稀釋和沖洗污染源,從而降低污染物的濃度,降低晶圓表面的顆粒污染物。

天眼查資料顯示,上海積塔半導體有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以從事計算機、通信和其他電子設備制造業(yè)為主的企業(yè)貨架。企業(yè)注冊資本1790638.7534萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析,上海積塔半導體有限公司共對外投資了2家企業(yè),參與招投標項目1949次,財產(chǎn)線索方面有商標信息9條,專利信息1339條,此外企業(yè)還擁有行政許可200個。

聲明:市場有風險,投資需謹慎貨架。本文為AI基于第三方數(shù)據(jù)生成,僅供參考,不構成個人投資建議。

來源貨架:市場資訊

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