國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，廣東精瓷新材料有限公司申請一項名為“一種快速升溫快速冷卻的CVD加熱器及其制備方法”的專利，公開號CN121496375A，申請日期為2025年9月快速。
專利摘要顯示，本發(fā)明公開一種快速升溫快速冷卻的CVD加熱器及其制備方法，CVD加熱器安裝于CVD設(shè)備真空腔底部進行使用，包括有金屬座、水冷盤以及陶瓷發(fā)熱盤；該水冷盤貼合固定于金屬座的下表面，該陶瓷發(fā)熱盤貼合固定于金屬座的上表面，該陶瓷發(fā)熱盤具有陶瓷絕緣層，該陶瓷絕緣層為氮化鋁陶瓷快速。通過將陶瓷發(fā)熱盤的陶瓷絕緣層采用氮化鋁陶瓷，其熱導(dǎo)率、抗熱震性能優(yōu)異，并配合設(shè)置水冷盤，以取代傳統(tǒng)之采用空心陶瓷柱狀連接件來為晶圓實現(xiàn)快速升溫或降溫，水冷盤相較于空心柱狀連接件具有更長的使用壽命，不易損壞，可靠性強，維修簡單且成本低，可滿足快速升降溫需求，不會產(chǎn)生產(chǎn)品開裂問題，提高生產(chǎn)效率。
天眼查資料顯示，廣東精瓷新材料有限公司，成立于2021年，位于河源市，是一家以從事計算機、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)快速。企業(yè)注冊資本4513.3014萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析，廣東精瓷新材料有限公司共對外投資了2家企業(yè)，參與招投標項目7次，財產(chǎn)線索方面有商標信息2條，專利信息27條，此外企業(yè)還擁有行政許可9個。
聲明：市場有風(fēng)險，投資需謹慎快速。本文為AI基于第三方數(shù)據(jù)生成，僅供參考，不構(gòu)成個人投資建議。
來源快速：市場資訊
