國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，卡爾蔡司顯微鏡有限責(zé)任公司申請一項(xiàng)名為“電子束顯微鏡”的專利，公開號CN121641790A，申請日期為2025年9月電子。
專利摘要顯示，提供了電子束顯微鏡，其包括電子束源（5）、物鏡（25）和電子檢測器（37）電子。電子檢測器（37）包括閃爍體布置（76），該閃爍體布置被布置在電子束源（5）與物體位置（35）之間，以使得在物體（21）處生成的電子（81）入射到閃爍體本體（77）上，該閃爍體本體由閃爍體材料形成，該閃爍體材料由入射電子（81）生成光（83）。電子檢測器（37）還包括光檢測器（91）和光學(xué)元件（87），該光檢測器用于檢測由閃爍體本體（77）生成的光（83），該光學(xué)元件包括光學(xué)有效表面（85），該光學(xué)有效表面被布置在閃爍體布置（76）與物體位置（35）之間，以及被布置在閃爍體本體（77）與光檢測器（91）之間，處于由光檢測器（91）檢測到的光（83）的束路徑上。
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