國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，騰訊科技（深圳）有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“電子束光刻劑量分布的確定方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)”的專利，公開號(hào)CN121596678A，申請(qǐng)日期為2024年8月電子。
專利摘要顯示，本申請(qǐng)公開了一種電子束光刻劑量分布的確定方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)，涉及計(jì)算機(jī)技術(shù)和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域電子。該方法由GPU執(zhí)行，包括：通過電子束光刻物理模型，根據(jù)電子束光刻的劑量分布，計(jì)算得到預(yù)測(cè)成像圖像；基于預(yù)測(cè)成像圖像和目標(biāo)成像圖像，計(jì)算成像損失函數(shù)關(guān)于劑量分布的梯度，其中，成像損失函數(shù)用于表征預(yù)測(cè)成像圖像和目標(biāo)成像圖像之間的差異；基于成像損失函數(shù)關(guān)于劑量分布的梯度，更新劑量分布，得到更新后的劑量分布。該方法顯著減少了電子束光刻物理模型模擬電子束光刻過程的計(jì)算耗時(shí)，以及確定電子束光刻的劑量分布的整個(gè)流程的計(jì)算耗時(shí)，從而提高了確定電子束光刻的劑量分布的效率。
天眼查資料顯示，騰訊科技（深圳）有限公司，成立于2000年，位于深圳市，是一家以從事軟件和信息技術(shù)服務(wù)業(yè)為主的企業(yè)電子。企業(yè)注冊(cè)資本200萬美元。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析，騰訊科技（深圳）有限公司共對(duì)外投資了15家企業(yè)，參與招投標(biāo)項(xiàng)目285次，財(cái)產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息5000條，專利信息5000條，此外企業(yè)還擁有行政許可574個(gè)。
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