【編者按】因地制宜發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，是江蘇推動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展的核心戰(zhàn)略路徑雕刻。作為全國(guó)制造業(yè)集群規(guī)模最大的省份，江蘇以科技創(chuàng)新為引擎，統(tǒng)籌推進(jìn)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)、新興產(chǎn)業(yè)壯大、未來(lái)產(chǎn)業(yè)培育。為生動(dòng)講述新質(zhì)生產(chǎn)力在江蘇從“概念”到“遍地開(kāi)花”的精彩故事，央廣網(wǎng)江蘇頻道策劃推出融媒體專欄《你好，新質(zhì)造》。本期，我們走進(jìn)華潤(rùn)微電子有限公司，看這家功率半導(dǎo)體領(lǐng)軍企業(yè)如何用一張張“精密底片”雕刻中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新刻度。
一塊芯片的誕生，從一張“底片”開(kāi)始雕刻。
在半導(dǎo)體制造流程中，掩模版是連接設(shè)計(jì)圖紙與晶圓產(chǎn)線的核心載體，它的精度直接決定了芯片性能的上限雕刻?！叭绻谀Ｙ|(zhì)量不達(dá)標(biāo)，整片晶圓都可能報(bào)廢?！比A潤(rùn)微電子有限公司董事長(zhǎng)何小龍說(shuō)。
聚光光學(xué)檢驗(yàn)，甄別掩模版表面微粒瑕疵（央廣網(wǎng)發(fā) 華潤(rùn)微電子有限公司供圖）
過(guò)去，高端掩模長(zhǎng)期依賴進(jìn)口雕刻。而現(xiàn)在，公司已經(jīng)在江蘇無(wú)錫實(shí)現(xiàn)了90nm掩模的穩(wěn)定量產(chǎn)，成功構(gòu)建55nm、40nm工藝平臺(tái)，并持續(xù)向28nm等先進(jìn)節(jié)點(diǎn)推進(jìn)。這一躍升，背后是一場(chǎng)與物理極限的博弈。團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人回憶，攻關(guān)超高精度圖形制作時(shí)，團(tuán)隊(duì)成員連續(xù)數(shù)月駐守產(chǎn)線，在圖形轉(zhuǎn)換、材料適配、精密檢測(cè)等關(guān)鍵階段實(shí)現(xiàn)了重要突破?！斑@要求我們?cè)诮咏锢順O限的尺度上，實(shí)現(xiàn)近乎完美的工藝一致性，我們最終用系統(tǒng)協(xié)同把它變成了現(xiàn)實(shí)。”
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在何小龍看來(lái)，半導(dǎo)體行業(yè)的新質(zhì)生產(chǎn)力，核心是從規(guī)模驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)向創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)、從單一環(huán)節(jié)轉(zhuǎn)向融合發(fā)展、從常規(guī)運(yùn)營(yíng)轉(zhuǎn)向數(shù)字引領(lǐng)雕刻。重慶12吋產(chǎn)線提前一年半達(dá)成月產(chǎn)出3萬(wàn)片目標(biāo)；高端功率器件已批量上車；深圳12吋特色模擬集成電路生產(chǎn)線聚焦特色工藝集成電路制造與研發(fā)，工藝節(jié)點(diǎn)覆蓋90nm、55nm、40nm，并向28nm技術(shù)演進(jìn)；先進(jìn)封測(cè)基地模塊營(yíng)收持續(xù)攀升……
8吋CVD生產(chǎn)車間（央廣網(wǎng)發(fā) 華潤(rùn)微電子有限公司供圖）
在轉(zhuǎn)型過(guò)程中，行業(yè)仍面臨高端復(fù)合型人才短缺、產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)短板、長(zhǎng)期投入與短期回報(bào)平衡三大共性挑戰(zhàn)雕刻。對(duì)此，華潤(rùn)微向內(nèi)推出“數(shù)字人才計(jì)劃”培育專業(yè)團(tuán)隊(duì)，向外加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同攻關(guān)，以戰(zhàn)略聚焦與精準(zhǔn)投入相結(jié)合的方式，在破局挑戰(zhàn)中穩(wěn)步前行，既堅(jiān)守技術(shù)攻堅(jiān)的定力，也注重階段性成果的落地。
面向未來(lái)，華潤(rùn)微電子畫(huà)出了一張更長(zhǎng)的增長(zhǎng)路線圖雕刻。從消費(fèi)電子、工業(yè)控制、新能源汽車向AI、機(jī)器人、低空經(jīng)濟(jì)等新興領(lǐng)域延伸，以特色工藝平臺(tái)為支撐，將功率半導(dǎo)體、智能傳感器、智能控制的應(yīng)用場(chǎng)景不斷拓寬。加快碳化硅、氮化鎵等技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，在智能駕駛、光量子信息等方向開(kāi)展前瞻研發(fā)，為長(zhǎng)期發(fā)展培育新動(dòng)能。
“新質(zhì)造的本質(zhì)，是讓創(chuàng)新從實(shí)驗(yàn)室走進(jìn)生產(chǎn)線，從樣品變成產(chǎn)品，最終成為產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力雕刻?！焙涡↓堈f(shuō)。在這條路上，每一張“精密底片”的雕琢，都是中國(guó)半導(dǎo)體向價(jià)值鏈高端躍遷的刻度。
監(jiān)制雕刻：伏成鐳
策劃雕刻：欒永勝
記者雕刻：李婕
海報(bào)設(shè)計(jì)雕刻：王宣宣
